超精密數控車床這里主要介紹機械加工稱呼的精密，即：加工精度在0.004-0.01mm范圍內。

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開環控制：即不帶位置反饋裝置的控制方式。加工精度一般在0.02-0.05mm精度左右。
半閉環控制：指在開環控制伺服電動機軸上裝有角位移檢測裝置，通過檢測伺服電動機的轉角間接地檢測出運動部件的位移反饋給數控裝置的比較器，與輸入的指令進行比較，用差值控制運動部件，加工精度一般在0.01-0.02mm精度左右。
閉環控制：是在機床的最終的運動部件的相應位置直接直線或回轉式檢測裝置，將直接測量到的位移或角位移值反饋到數控裝置的比較器中與輸入指令移量進行比較，用差值控制運動部件，使運動部件嚴格按實際需要的位移量運動。加工精度一般在0.002-0.01mm精度左右。
其中：
1、編程誤差△編由逼近誤差δ、圓整誤差組成。逼近誤差δ是在用直線段或圓弧段去逼近非圓曲線的過程中產生。圓整誤差是在數據處理時，將坐標值四舍五入圓整成整數脈沖當量值而產生的誤差。
脈沖當量是指每個單位脈沖對應坐標軸的位移量，普通精度級的數控機床，一般脈沖當量值為0.01mm；較精密數控機床的脈沖當量值為0.005mm或0.001mm等。
2、機床誤差△機由數控系統誤差、進給系統誤差等原因產生。
3、定位誤差△定是當工件在夾具上定位、夾具在機床上定位時產生的。
4、對刀誤差△刀是在確定刀具與工件的相對位置時產生。